第154章 阿斯莫光刻机封锁启动追光
重回1990：我的科技强国路 作者:佚名
第154章 阿斯莫光刻机封锁启动追光
阿斯莫的邮件，不仅封锁了未来，也开始扼杀现在。
未来科技合城產业园內，那几台耗费巨资引进的阿斯莫nxt:1980di光刻机，虽然还能运转，却已成了信息孤岛。
屏幕上偶尔弹出的“无法连接至服务中心”的红色警告，提醒著所有人，这些精密复杂的巨兽一旦出现任何超出当前工程师处理能力的问题，就可能彻底瘫痪，成为一堆昂贵的废铁。
“追光计划”的启动，已不再是战略选项，而是生存下去的背水一战。
產业园深处，一栋新掛上“追光项目部”牌子的独立大楼里，气氛凝重而肃穆。
这里安保等级被提到了最高，进出需要经过三重权限验证。
最大的会议室被改成了作战指挥中心，墙上不再是市场图表，而是掛满了一张张复杂到令人眼晕的光刻机系统分解图、光学路径图、以及全球范围內公开和半公开的关於光刻技术的论文摘要。
陈醒、林薇、李明哲、张京京，以及从华科院、清北大学精密仪器系抽调来的顶尖专家齐聚一堂。
没有慷慨激昂的动员，每个人的脸上都写满了沉甸甸的责任和破釜沉舟的决心。
“情况大家都清楚了。”
陈醒的声音在寂静的会议室里迴荡，他指著墙上那张最大的光刻机总体结构图，
“阿斯莫给我们断了粮，停了药。我们现在要做的，就是靠自己，把这头『工业巨兽』从里到外吃透，然后，造出我们自己的！『追光计划』没有退路，只能成功，不能失败！”
张京京博士走到台前，他手中拿著一份厚厚的技术路线图草案。
“阿斯莫的机器是集全球顶尖技术之大成，我们正面强攻，短时间內绝无可能复製。所以，我们的策略是：分解、吸收、迂迴、突破。”
他详细阐述了“追光计划”的四步走战略：
第一，逆向工程与知识萃取。 成立数个专项小组，针对光刻机的核心子系统：光源系统、光学系统、精密工件台、以及量测与控制系统，进行彻底的原理分析和关键技术拆解。
“我们不是要原样仿造，那会陷入专利陷阱，也永远跟不上他们的叠代速度。”
张京京强调，
“我们的目標是，通过拆解研究，彻底理解其底层物理原理、材料特性和工程设计逻辑，建立我们自己的知识体系和技术资料库。尤其是，”
他顿了顿，目光扫过几位来自高校的理论物理专家，
“在光源和光学领域，我们要探索不同於阿斯莫技术路径的可能性。”
第二，全国协同攻关。 未来科技作为牵头单位和需求方，负责总体集成、部分关键子系统的研发，以及提供充足的资金和工程化验证平台。
而光源部分，由华科院光学精密机械研究所主导；物镜和精密光学加工，由清北大学和国內最大的光学企业华光所联合攻关；双工作檯的超精密运动控制，则交给了在数控领域有深厚积累的沪上电气集团。
“这將是一场大会战。”
李明哲补充道，
“我们已经將阿斯莫设备上所有不影响当前生產、且能安全获取的运行数据、日誌文件进行了封存备份，这些一手数据，对各个攻关团队来说，是无价之宝。”
第三，装备与工艺协同。 林薇接过话头，她面前摆著的是星流未来屏幕工厂和晶片前道工艺的资料。
“光刻机只是工具，最终目的是在硅片上刻出合格的电路。『追光计划』必须与我们的晶片製造工艺研发深度协同。我们会立即成立一个联合工艺小组，驻扎在这里。光刻机的任何进展，都要第一时间在我们的工艺线上进行验证和叠代；反过来，我们在硅片材料、光刻胶、涂布显影等配套工艺上的任何突破，也要反馈给光刻机团队，优化设备参数。”
她目光坚定地看向陈醒和张京京：
“这能確保我们造出的『中国光刻机』，从一开始就是为『中国晶片』量身定製的，是最適合我们工艺体系的利器，而不是一个简单的仿製品。”
第四，人才与时间表。 计划制定了极其严苛，甚至被外界看来是“不可能完成”的时间节点：6个月內，完成所有子系统技术路径论证和初步设计；18个月內，拿出工程样机並进行单项技术验证；36个月內，实现首台国產浸没式光刻机的整机集成与流片测试。
“我知道这个时间表非常激进。”
陈醒看著与会眾人，
“但我们没有慢慢来的资本。天权3號等不了，国家的期望等不了，我们自己的生存更是等不了！『星火燎原』股权激励已经落地，现在，是时候让所有人看到，我们配得上这份信任，担得起这份重託！”
“追光计划”全面启动，这座大楼迅速变成了一个不同学术背景、不同工业领域精英们碰撞思想、攻坚克难的熔炉。走廊里隨处可见激烈討论的工程师，白板上写满了复杂的公式和草图，实验室里通宵达旦地亮著灯光。
然而，困难远超想像。仅仅是理解阿斯莫光刻机那数以十万计的零部件功能与相互关联，就是一个浩瀚如烟的工程。
一些特殊的核心材料，如製造顶级物镜所需的超低膨胀係数玻璃、镜面多层膜材料，其配方和工艺完全被国外巨头垄断，国內基础几乎为零。
张京京团队在光源实验室里，面对如何稳定產生並控制极紫外光这一世界级难题，进展缓慢，一次次实验，一次次失败。
李明哲则要应对更加现实的威胁：现有阿斯莫设备的维护。
隨著原厂技术支持的断绝，一些设备的稳定性开始出现细微的下滑，產能和良率都受到了潜在影响。
他组织了一支由公司最资深设备工程师组成的“特种维护队”，靠著有限的图纸和以往的经验，小心翼翼地维持著这些“娇贵”设备的运转，每一次非计划停机都让所有人捏一把汗。
一天深夜，林薇在“追光”指挥部处理完一个工艺匹配的问题后，没有直接回家，而是绕道去了晶片前道製程的研发实验室。
她心里始终惦记著那个能提升良率的硅片清洗新工艺。
在翻阅一批刚出来的测试晶圆电性参数报告时，她敏锐地注意到一个奇怪的现象：在某一批次使用了某种实验性清洗配方的晶圆上，虽然整体良率没有显著提升，但在特定图形区域，线宽均匀性却出现了异常优异的数据。
这个发现让她心头一动。她立刻调出了该批次清洗工艺的详细记录，反覆比对参数，一个之前被忽略的可能性，在她脑海中逐渐清晰起来。
也许，问题不是出在清洗的“力度”上，而是出在清洗的“精度”和与后续光刻、刻蚀工艺的“协同”上？
她立刻在实验日誌上做了详细的標记，並给自己定下了一个任务：明天一早，就召集清洗和工艺集成团队的负责人，沿著这个新的方向，重新设计实验方案。
也就在这个夜晚，陈醒接到了“芯火燎原”计划国家层面推进办公室的正式通知：“追光”专项，已被列为“芯火燎原”计划內，优先级最高、保密等级最高的“头號工程”，代號“铸剑”。
国家將调动一切可调动的资源，为其保驾护航。
放下电话，陈醒走到窗边，望著“追光”大楼那彻夜不息的灯火。
前路依旧迷雾重重，荆棘密布。但他知道，一支人心凝聚、目標明確的队伍，已经向著那看似不可逾越的技术巔峰，发起了最决绝的衝锋。
第154章 阿斯莫光刻机封锁启动追光
阿斯莫的邮件，不仅封锁了未来，也开始扼杀现在。
未来科技合城產业园內，那几台耗费巨资引进的阿斯莫nxt:1980di光刻机，虽然还能运转，却已成了信息孤岛。
屏幕上偶尔弹出的“无法连接至服务中心”的红色警告，提醒著所有人，这些精密复杂的巨兽一旦出现任何超出当前工程师处理能力的问题，就可能彻底瘫痪，成为一堆昂贵的废铁。
“追光计划”的启动，已不再是战略选项，而是生存下去的背水一战。
產业园深处，一栋新掛上“追光项目部”牌子的独立大楼里，气氛凝重而肃穆。
这里安保等级被提到了最高，进出需要经过三重权限验证。
最大的会议室被改成了作战指挥中心，墙上不再是市场图表，而是掛满了一张张复杂到令人眼晕的光刻机系统分解图、光学路径图、以及全球范围內公开和半公开的关於光刻技术的论文摘要。
陈醒、林薇、李明哲、张京京，以及从华科院、清北大学精密仪器系抽调来的顶尖专家齐聚一堂。
没有慷慨激昂的动员，每个人的脸上都写满了沉甸甸的责任和破釜沉舟的决心。
“情况大家都清楚了。”
陈醒的声音在寂静的会议室里迴荡，他指著墙上那张最大的光刻机总体结构图，
“阿斯莫给我们断了粮，停了药。我们现在要做的，就是靠自己，把这头『工业巨兽』从里到外吃透，然后，造出我们自己的！『追光计划』没有退路，只能成功，不能失败！”
张京京博士走到台前，他手中拿著一份厚厚的技术路线图草案。
“阿斯莫的机器是集全球顶尖技术之大成，我们正面强攻，短时间內绝无可能复製。所以，我们的策略是：分解、吸收、迂迴、突破。”
他详细阐述了“追光计划”的四步走战略：
第一，逆向工程与知识萃取。 成立数个专项小组，针对光刻机的核心子系统：光源系统、光学系统、精密工件台、以及量测与控制系统，进行彻底的原理分析和关键技术拆解。
“我们不是要原样仿造，那会陷入专利陷阱，也永远跟不上他们的叠代速度。”
张京京强调，
“我们的目標是，通过拆解研究，彻底理解其底层物理原理、材料特性和工程设计逻辑，建立我们自己的知识体系和技术资料库。尤其是，”
他顿了顿，目光扫过几位来自高校的理论物理专家，
“在光源和光学领域，我们要探索不同於阿斯莫技术路径的可能性。”
第二，全国协同攻关。 未来科技作为牵头单位和需求方，负责总体集成、部分关键子系统的研发，以及提供充足的资金和工程化验证平台。
而光源部分，由华科院光学精密机械研究所主导；物镜和精密光学加工，由清北大学和国內最大的光学企业华光所联合攻关；双工作檯的超精密运动控制，则交给了在数控领域有深厚积累的沪上电气集团。
“这將是一场大会战。”
李明哲补充道，
“我们已经將阿斯莫设备上所有不影响当前生產、且能安全获取的运行数据、日誌文件进行了封存备份，这些一手数据，对各个攻关团队来说，是无价之宝。”
第三，装备与工艺协同。 林薇接过话头，她面前摆著的是星流未来屏幕工厂和晶片前道工艺的资料。
“光刻机只是工具，最终目的是在硅片上刻出合格的电路。『追光计划』必须与我们的晶片製造工艺研发深度协同。我们会立即成立一个联合工艺小组，驻扎在这里。光刻机的任何进展，都要第一时间在我们的工艺线上进行验证和叠代；反过来，我们在硅片材料、光刻胶、涂布显影等配套工艺上的任何突破，也要反馈给光刻机团队，优化设备参数。”
她目光坚定地看向陈醒和张京京：
“这能確保我们造出的『中国光刻机』，从一开始就是为『中国晶片』量身定製的，是最適合我们工艺体系的利器，而不是一个简单的仿製品。”
第四，人才与时间表。 计划制定了极其严苛，甚至被外界看来是“不可能完成”的时间节点：6个月內，完成所有子系统技术路径论证和初步设计；18个月內，拿出工程样机並进行单项技术验证；36个月內，实现首台国產浸没式光刻机的整机集成与流片测试。
“我知道这个时间表非常激进。”
陈醒看著与会眾人，
“但我们没有慢慢来的资本。天权3號等不了，国家的期望等不了，我们自己的生存更是等不了！『星火燎原』股权激励已经落地，现在，是时候让所有人看到，我们配得上这份信任，担得起这份重託！”
“追光计划”全面启动，这座大楼迅速变成了一个不同学术背景、不同工业领域精英们碰撞思想、攻坚克难的熔炉。走廊里隨处可见激烈討论的工程师，白板上写满了复杂的公式和草图，实验室里通宵达旦地亮著灯光。
然而，困难远超想像。仅仅是理解阿斯莫光刻机那数以十万计的零部件功能与相互关联，就是一个浩瀚如烟的工程。
一些特殊的核心材料，如製造顶级物镜所需的超低膨胀係数玻璃、镜面多层膜材料，其配方和工艺完全被国外巨头垄断，国內基础几乎为零。
张京京团队在光源实验室里，面对如何稳定產生並控制极紫外光这一世界级难题，进展缓慢，一次次实验，一次次失败。
李明哲则要应对更加现实的威胁：现有阿斯莫设备的维护。
隨著原厂技术支持的断绝，一些设备的稳定性开始出现细微的下滑，產能和良率都受到了潜在影响。
他组织了一支由公司最资深设备工程师组成的“特种维护队”，靠著有限的图纸和以往的经验，小心翼翼地维持著这些“娇贵”设备的运转，每一次非计划停机都让所有人捏一把汗。
一天深夜，林薇在“追光”指挥部处理完一个工艺匹配的问题后，没有直接回家，而是绕道去了晶片前道製程的研发实验室。
她心里始终惦记著那个能提升良率的硅片清洗新工艺。
在翻阅一批刚出来的测试晶圆电性参数报告时，她敏锐地注意到一个奇怪的现象：在某一批次使用了某种实验性清洗配方的晶圆上，虽然整体良率没有显著提升，但在特定图形区域，线宽均匀性却出现了异常优异的数据。
这个发现让她心头一动。她立刻调出了该批次清洗工艺的详细记录，反覆比对参数，一个之前被忽略的可能性，在她脑海中逐渐清晰起来。
也许，问题不是出在清洗的“力度”上，而是出在清洗的“精度”和与后续光刻、刻蚀工艺的“协同”上？
她立刻在实验日誌上做了详细的標记，並给自己定下了一个任务：明天一早，就召集清洗和工艺集成团队的负责人，沿著这个新的方向，重新设计实验方案。
也就在这个夜晚，陈醒接到了“芯火燎原”计划国家层面推进办公室的正式通知：“追光”专项，已被列为“芯火燎原”计划內，优先级最高、保密等级最高的“头號工程”，代號“铸剑”。
国家將调动一切可调动的资源，为其保驾护航。
放下电话，陈醒走到窗边，望著“追光”大楼那彻夜不息的灯火。
前路依旧迷雾重重，荆棘密布。但他知道，一支人心凝聚、目標明確的队伍，已经向著那看似不可逾越的技术巔峰，发起了最决绝的衝锋。