第136章 近接式光刻机成功,集成电路突破!
第136章 近接式光刻机成功,集成电路突破!
送走沈宏后,江阳和苏筱閒聊片刻。
紧接著。
他便回到书房,开始看书学习。
苏筱没有离开。
而是搬了张小凳子,坐在门外。
然后从隨身的挎包中。
拿出书本。
一虽说苏筱现在已经是江阳的助理。
但却並没有因此。
就放弃原本的研究,反而更加地刻苦和努力。
书房內,江阳看向门外。
——
苏筱十分专注。
不过片刻,人就已经完全沉浸在书本中。
他放下心。
打开瑶光,开始查资料。
接下来的时间。
江阳一边“协助”五院df—2的预研。
一边兼顾其他研究。
在具体方案上。
他也並非单纯的生搬硬套,复製黏贴。
而是能替代就替代。
没有替代的。
——
用瑶光也要想出办法来替代。
毕竟华国的工业基础太薄弱,只能稳扎稳打。
盲目冒进。
只会做出华而不实的东西。
一个月后,半导体研究所。
实验室內。
华国第一台近接式光刻机组装工作。
进入最终收尾阶段!
这段时间来。
在解决最关键的光学系统后。
江阳带领研究团队。
——
转移重心。
针对精密机械系统、对准与套刻系统、光刻胶涂覆与处理问题。
进行集中技术攻关。
因为先前已经让王寿吾带人研究。
有一定理论的支撑。
所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。
当然。
即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。
很多设计和结构上。
江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。
不过虽说精度下降。
但至少,能先解决有没有的问题。
在江阳的指挥下。
一项项步骤。
有条不紊地进行著。
他身边的王寿吾、林嵐因和黄坤等人。
都紧张得手心冒汗。
这种情况,一直持续到完成最后的测试。
负责组装的王志坚。
整理数据后。
走到江阳的面前,正声道:“江教授,成功了!”
听到这个消息。
所有人的脸上,终於浮现出笑容。
王寿吾狠狠地挥了挥拳头。
一旁的王大严。
则是朝著江阳竖起一个大拇指,道:“不愧是江教授啊!”
他说完后。
王寿吾等人也反应过来,纷纷开口道:“没错,多亏江教授,才能研製出近接式光刻机!”
“有了它,老大哥和m帝,恐怕都要被我们狠狠甩在身后!”
“不是恐怕,是一定,他们的光刻机,恐怕连我们先前的都比不上!”
每个人的眼中。
都满是兴奋。
但江阳反倒很平静,问道:“测试的数据怎么样?”
王志坚道:“光强波动≤±5%、清晰成像2μm线宽————”
他不断地。
念出各项数据。
每说出一个,大家脸上的笑容,都更深一分。
江阳听完后,道:“雷射干涉仪刚成功,工作檯运动精度,还有提高空间。
“使用的光刻胶。”
“目前也只是勉强满足需求,显影后测量残留胶————”
他说著说著。
忽然感觉周围非常安静。
抬头看去。
只见每个人,都拿出纸笔,开始记录。
见状。
江阳怔了怔,转而道:“但这些都可以慢慢去突破。”
“我们现在。”
“在世界半导体领域,应该处於领先地位了。”
听到最后的这句话。
所有人手中的笔,都停了下来。
他们望向实验室操作台上的近接式光刻机,目光恍惚。
——领先。
这个词在华国。
好像已经有一百多年,没有出现。
他们是落后的。
所以挨了很多的打,了很长的时间,付出了很多的牺牲。
正是因为这血的教训。
他们才要研究、要追赶、要反超!
想到这里。
实验室內的所有人,眼眶都有些微微泛红。
他们,做到了。
王寿吾看向江阳,郑重道:“江教授,我们马上开始集成电路的突破吧!”
“有了它!”
“我相信我们这次一定能够突破100集成度!”
他说完后。
其他研究人员,也是纷纷点头。
光刻机只是开始。
集成电路,才是他们最终的目的。
江阳本来想让眾人先庆祝。
但看到他们的表情。
当即頷首道:“好,那么我们开始吧!”
实验继续。
集成电路所需的材料,早已备齐。
將硅片加工完后。
进入光刻工艺环节,涂胶、曝光、显影和刻蚀。
然后是掺杂。
金属化、测试、封装————
每道工序。
都至少需要3—5天的时间打底。
但没有人喊苦喊累。
整个研究团队,一天24h,20个小时都在实验室。
王寿吾、林嵐因和黄坤等主要负责人。
更是完全顾不上休息。
每天在实验室吃饭,休息就去旁边的办公室。
就这样。
用了差不多一个月的时间。
集成电路。
终於成功突破到128集成度!
华科院。
郭弱看到王寿吾大踏步地走进来。
就知道是有好消息。
但他眼中没有高兴,反而有些担忧和无奈。
郭弱看著满眼血丝的王寿吾,道:“研究重要,但你们也要注重身体!”
王寿吾愣了愣,道:“您放心,我们没让江教授————”
他的话还没说完。
郭弱便打断道:“江教授重要,你们也重要!”
听到这话。
王寿吾心中浮现出浓浓感动。
他说道:“我认为这是值得的。”
“领导。”
“近接式光刻机、雷射干涉仪,还有128集成度集成电路————”
说到最后。
王寿吾忽然有些哽咽,瞬间说不出话来。
良久。
他才深吸一口气,继续道:“这些成果。”
“让我们的半导体。”
“做到了世界范围內的绝对领先!”
王寿吾的每一个字,都掷地有声。
郭弱停在耳中。
手中的拳头紧了又松,鬆了又紧。
他何尝不清楚。
领先。
对於华国而言,究竟有著怎样特殊的意义!
过了许久。
郭弱平静下来,道:“那也不能这么拼命。”
“好了。”
“你先回去,给所里的大家都放个假,有事后面再说。”
闻言,王寿吾没有拒绝,点了点头。
他確实很疲惫了。
如果不是因为这股兴奋劲压著,早就睡死过去。
郭弱说完后。
便准备前往华科委。
但看王寿吾困得睁不开眼的样子。
实在是担心。
最后还是亲自用车將其送回半导体研究所。
隨后。
郭弱才赶去华科委,向秦云做匯报。
128集成度。
这个理解起来或许有些复杂。
但领先世界。
並不难理解。
秦云听完后,沉吟许久。
然后道:“或许,这是一个好机会!”
>
送走沈宏后,江阳和苏筱閒聊片刻。
紧接著。
他便回到书房,开始看书学习。
苏筱没有离开。
而是搬了张小凳子,坐在门外。
然后从隨身的挎包中。
拿出书本。
一虽说苏筱现在已经是江阳的助理。
但却並没有因此。
就放弃原本的研究,反而更加地刻苦和努力。
书房內,江阳看向门外。
——
苏筱十分专注。
不过片刻,人就已经完全沉浸在书本中。
他放下心。
打开瑶光,开始查资料。
接下来的时间。
江阳一边“协助”五院df—2的预研。
一边兼顾其他研究。
在具体方案上。
他也並非单纯的生搬硬套,复製黏贴。
而是能替代就替代。
没有替代的。
——
用瑶光也要想出办法来替代。
毕竟华国的工业基础太薄弱,只能稳扎稳打。
盲目冒进。
只会做出华而不实的东西。
一个月后,半导体研究所。
实验室內。
华国第一台近接式光刻机组装工作。
进入最终收尾阶段!
这段时间来。
在解决最关键的光学系统后。
江阳带领研究团队。
——
转移重心。
针对精密机械系统、对准与套刻系统、光刻胶涂覆与处理问题。
进行集中技术攻关。
因为先前已经让王寿吾带人研究。
有一定理论的支撑。
所以江阳能够很放心地往外掏东西,推动近接式光刻机的迅速完成。
当然。
即便如此,搞出完整版的近接式光刻机,还是不可能。
很多设计和结构上。
江阳都通过瑶光,经过阉割和简化。
不过虽说精度下降。
但至少,能先解决有没有的问题。
在江阳的指挥下。
一项项步骤。
有条不紊地进行著。
他身边的王寿吾、林嵐因和黄坤等人。
都紧张得手心冒汗。
这种情况,一直持续到完成最后的测试。
负责组装的王志坚。
整理数据后。
走到江阳的面前,正声道:“江教授,成功了!”
听到这个消息。
所有人的脸上,终於浮现出笑容。
王寿吾狠狠地挥了挥拳头。
一旁的王大严。
则是朝著江阳竖起一个大拇指,道:“不愧是江教授啊!”
他说完后。
王寿吾等人也反应过来,纷纷开口道:“没错,多亏江教授,才能研製出近接式光刻机!”
“有了它,老大哥和m帝,恐怕都要被我们狠狠甩在身后!”
“不是恐怕,是一定,他们的光刻机,恐怕连我们先前的都比不上!”
每个人的眼中。
都满是兴奋。
但江阳反倒很平静,问道:“测试的数据怎么样?”
王志坚道:“光强波动≤±5%、清晰成像2μm线宽————”
他不断地。
念出各项数据。
每说出一个,大家脸上的笑容,都更深一分。
江阳听完后,道:“雷射干涉仪刚成功,工作檯运动精度,还有提高空间。
“使用的光刻胶。”
“目前也只是勉强满足需求,显影后测量残留胶————”
他说著说著。
忽然感觉周围非常安静。
抬头看去。
只见每个人,都拿出纸笔,开始记录。
见状。
江阳怔了怔,转而道:“但这些都可以慢慢去突破。”
“我们现在。”
“在世界半导体领域,应该处於领先地位了。”
听到最后的这句话。
所有人手中的笔,都停了下来。
他们望向实验室操作台上的近接式光刻机,目光恍惚。
——领先。
这个词在华国。
好像已经有一百多年,没有出现。
他们是落后的。
所以挨了很多的打,了很长的时间,付出了很多的牺牲。
正是因为这血的教训。
他们才要研究、要追赶、要反超!
想到这里。
实验室內的所有人,眼眶都有些微微泛红。
他们,做到了。
王寿吾看向江阳,郑重道:“江教授,我们马上开始集成电路的突破吧!”
“有了它!”
“我相信我们这次一定能够突破100集成度!”
他说完后。
其他研究人员,也是纷纷点头。
光刻机只是开始。
集成电路,才是他们最终的目的。
江阳本来想让眾人先庆祝。
但看到他们的表情。
当即頷首道:“好,那么我们开始吧!”
实验继续。
集成电路所需的材料,早已备齐。
將硅片加工完后。
进入光刻工艺环节,涂胶、曝光、显影和刻蚀。
然后是掺杂。
金属化、测试、封装————
每道工序。
都至少需要3—5天的时间打底。
但没有人喊苦喊累。
整个研究团队,一天24h,20个小时都在实验室。
王寿吾、林嵐因和黄坤等主要负责人。
更是完全顾不上休息。
每天在实验室吃饭,休息就去旁边的办公室。
就这样。
用了差不多一个月的时间。
集成电路。
终於成功突破到128集成度!
华科院。
郭弱看到王寿吾大踏步地走进来。
就知道是有好消息。
但他眼中没有高兴,反而有些担忧和无奈。
郭弱看著满眼血丝的王寿吾,道:“研究重要,但你们也要注重身体!”
王寿吾愣了愣,道:“您放心,我们没让江教授————”
他的话还没说完。
郭弱便打断道:“江教授重要,你们也重要!”
听到这话。
王寿吾心中浮现出浓浓感动。
他说道:“我认为这是值得的。”
“领导。”
“近接式光刻机、雷射干涉仪,还有128集成度集成电路————”
说到最后。
王寿吾忽然有些哽咽,瞬间说不出话来。
良久。
他才深吸一口气,继续道:“这些成果。”
“让我们的半导体。”
“做到了世界范围內的绝对领先!”
王寿吾的每一个字,都掷地有声。
郭弱停在耳中。
手中的拳头紧了又松,鬆了又紧。
他何尝不清楚。
领先。
对於华国而言,究竟有著怎样特殊的意义!
过了许久。
郭弱平静下来,道:“那也不能这么拼命。”
“好了。”
“你先回去,给所里的大家都放个假,有事后面再说。”
闻言,王寿吾没有拒绝,点了点头。
他確实很疲惫了。
如果不是因为这股兴奋劲压著,早就睡死过去。
郭弱说完后。
便准备前往华科委。
但看王寿吾困得睁不开眼的样子。
实在是担心。
最后还是亲自用车將其送回半导体研究所。
隨后。
郭弱才赶去华科委,向秦云做匯报。
128集成度。
这个理解起来或许有些复杂。
但领先世界。
並不难理解。
秦云听完后,沉吟许久。
然后道:“或许,这是一个好机会!”
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