第110章 近接式光刻机，微米级微调机构！
第110章 近接式光刻机，微米级微调机构！
次日，早。
江阳醒来后，简单的洗漱完。
便立刻前往应物所。
到了地方。
在江阳进到所里，一路往半导体研究室走的时候。
不停有人和他打招呼，道：
“江教授好！”
“江教授，您今天来的好早啊！”
“江教授，我有个问题想请教你——”
面对眾人的问好。
江阳放缓脚步，一一回应。
就在这时。
远处的王寿吾也看到了他，连忙小跑过来，道：
“江教授，您今天平时来的早许多呀！”
江阳頜首道：
“有了些新的想法，想跟您和黄教授、林教授討论。”
闻言，王寿吾目光大亮，道：
“没问题，我这就去叫他们！”
不多时。
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王寿吾带著黄琨和林嵐因，来到办公室。
一进门。
他们便看到江阳正拿著一块小黑板。
在上面写下：
光学系统、精密机械、光刻胶与化学工艺。
林嵐因眼神微凝，道：
“江教授您这是打算解决光刻机的问题了吗？”
一旁的黄琨。
神色同样振奋不已。
没办法。
原先使用的简易光刻机，效果几乎已经被压榨到极限。
他们再怎么去优化。
集成电路的集成度，都无法突破40。
江阳回过头，道：
“没错。”
“我也不瞒你们，前些天郭院长来找我，我夸下海口。
“说要研製1000w次每秒运算速度的计算机。”
他说完后。
王寿吾三人你看我，我看你，都以为是自己听错了。
1000w次每秒。
別说是他们。
恐怕老大哥和m第一块研製，也未必能搞定。
想到这里。
王寿吾迟疑道：
“江教授，这个標是不是太了？”
一旁的黄琨和林嵐因没有说话。
但凝重的表情。
已经说明了態度。
江阳笑道：
“放心，那是我们的长期目標。”
他说完后。
王寿吾黄琨和林嵐因，长鬆一口气。
毕竟1000w次每秒。
实在是太嚇人了，想都不敢想，更別说是研究。
但紧接著。
江阳又继续道：
“我们短期的目標，是20w次每秒。”
听到这话。
王寿吾几人倒是没有再惊讶。
儘管20w次也很困难。
但至少比1000w次有完成的可能。
林嵐因道：
“江教授，要想达到这个短期目標。””现有的设备和工艺。”
“恐怕不以提供有效的持。”
黄琨跟著道：
“林教授说得对。”
“別的不说。”
“就说简易光刻机，误差大，成评率低，还需赖人工操作.”
两人没有避讳，先后说出自己的想法。
简易光刻机应急可以。
但要继续研製。
就必须做出真正的光刻机来。
当然。
除此之外，还有光源、掩膜、光刻机等等问题。
不解决的话。
或许能够研製出运算速度达到20w次每秒的计算机。
但1000w次每秒，绝无可能。
王寿吾忽然挠了挠头，暗道：
“不对。”
“我什么时候。”
“有了觉得20w次每秒能搞出来的想法？”
很快。
黄琨和林嵐因就说完了她们负责部分的问题。
並且提出了一些思路。
江阳没有急著评价，而是看向王寿吾。
后者摆了摆手，道：
“黄教授和林教授说得很全面，我没什么补充的。”
闻言，江阳頜首道：
“好，那我来说。”
“其实刚刚林教授的想法很不错。”
“我们现在的接触式光刻，缺少精密系统的辅助—.”
他一边说。
一边在身后的小黑板上写下几个关键点。
一掩膜与基片直接接触、光源简陋、手工操作。
总体上。
是根据林嵐因的思路，先去分析简易光刻机的缺陷。
待江阳说完后。
林嵐因立刻道：
“所以我们现在是要完成標准的接触式光刻吗？”
她在m帝时。
听说过接触式光刻的理论。
但目前来说，还没有一个很好的应用。
江阳道：
“不完全是。”
“接触式光刻其实存在个明显的缺陷。”
“近距离的物理接触，会导致掩膜的损失，大大降低寿命。”
他说完后。
林嵐因、黄琨和王寿吾，陷入沉思。
不採用接触式的话。
就完全没有可以依照的理论，只能摸著石头过河。
就在这时。
江阳继续道：
“所以我们需要保留掩膜与晶圆间微小的间隙。“
“没有物理接触。”
“自然能有效地提掩膜的使用寿命。”
林嵐因道：
“可是这样的话，恐怕需要更高的曝光时间。，“而且间隙控制。”
“没有够精度的调整机构，恐怕难以做到。”
江阳没有立刻回应。
而是默默地將手伸向隨身的挎包。
然后在三人果然如此的眼神中，拿出调整机构的研究方案。
林嵐因正想接过。
一旁的王寿吾忽然道：
“咦，江教授，您这次的案內容，以前多了很多啊！”
他说完后。
林嵐因何黄琨看著研究方案，也觉得不对。
就算是研製计算器时。
江阳都只给了大体的框架和简单的方向。
一个调整机构。
再难应该也不至於，需要这么多的稿纸去阐述研究方案。
江阳道：
“其实这里有两套方案。”
王寿吾惊讶道：
“两套？”
一旁的林嵐因和黄琨整了整，也露出疑惑的表情。
当然，他们並不是因为数量多。
而是觉得。
以江阳的能力，不应该会出现同时两套方案的情况。
想到这里。
王寿吾道：
“要不召集专家团，再討论几天，或许能给您一些参考。”
江阳道：
“不用这么麻烦，两套案都是可的。”
“只是效果不同。”
“第二套更好，是给我们的。至於第一套——拿来出！”
他其实有4套微调机构的方案。
但就现在的条件。
最多只能做到第二套，气浮轴承+气压控制。
王寿吾道：
“出口，这能行吗？”
他有些茫然。
毕竞以前华国都是从国外进口技术和设备。
至於出口。
只有农產品和矿產资源有点价值。
技术上。
根本没有国外能够看得上的东西。
这也是华国外匯储备长期缺乏的原因之一。
江阳笑道：
“当然能行。”
“不仅是微调机构。”
“以后光刻机，也要出口，我们得做好准备才行。”
次日，早。
江阳醒来后，简单的洗漱完。
便立刻前往应物所。
到了地方。
在江阳进到所里，一路往半导体研究室走的时候。
不停有人和他打招呼，道：
“江教授好！”
“江教授，您今天来的好早啊！”
“江教授，我有个问题想请教你——”
面对眾人的问好。
江阳放缓脚步，一一回应。
就在这时。
远处的王寿吾也看到了他，连忙小跑过来，道：
“江教授，您今天平时来的早许多呀！”
江阳頜首道：
“有了些新的想法，想跟您和黄教授、林教授討论。”
闻言，王寿吾目光大亮，道：
“没问题，我这就去叫他们！”
不多时。
更新不易，记得分享101看书网
王寿吾带著黄琨和林嵐因，来到办公室。
一进门。
他们便看到江阳正拿著一块小黑板。
在上面写下：
光学系统、精密机械、光刻胶与化学工艺。
林嵐因眼神微凝，道：
“江教授您这是打算解决光刻机的问题了吗？”
一旁的黄琨。
神色同样振奋不已。
没办法。
原先使用的简易光刻机，效果几乎已经被压榨到极限。
他们再怎么去优化。
集成电路的集成度，都无法突破40。
江阳回过头，道：
“没错。”
“我也不瞒你们，前些天郭院长来找我，我夸下海口。
“说要研製1000w次每秒运算速度的计算机。”
他说完后。
王寿吾三人你看我，我看你，都以为是自己听错了。
1000w次每秒。
別说是他们。
恐怕老大哥和m第一块研製，也未必能搞定。
想到这里。
王寿吾迟疑道：
“江教授，这个標是不是太了？”
一旁的黄琨和林嵐因没有说话。
但凝重的表情。
已经说明了態度。
江阳笑道：
“放心，那是我们的长期目標。”
他说完后。
王寿吾黄琨和林嵐因，长鬆一口气。
毕竟1000w次每秒。
实在是太嚇人了，想都不敢想，更別说是研究。
但紧接著。
江阳又继续道：
“我们短期的目標，是20w次每秒。”
听到这话。
王寿吾几人倒是没有再惊讶。
儘管20w次也很困难。
但至少比1000w次有完成的可能。
林嵐因道：
“江教授，要想达到这个短期目標。””现有的设备和工艺。”
“恐怕不以提供有效的持。”
黄琨跟著道：
“林教授说得对。”
“別的不说。”
“就说简易光刻机，误差大，成评率低，还需赖人工操作.”
两人没有避讳，先后说出自己的想法。
简易光刻机应急可以。
但要继续研製。
就必须做出真正的光刻机来。
当然。
除此之外，还有光源、掩膜、光刻机等等问题。
不解决的话。
或许能够研製出运算速度达到20w次每秒的计算机。
但1000w次每秒，绝无可能。
王寿吾忽然挠了挠头，暗道：
“不对。”
“我什么时候。”
“有了觉得20w次每秒能搞出来的想法？”
很快。
黄琨和林嵐因就说完了她们负责部分的问题。
並且提出了一些思路。
江阳没有急著评价，而是看向王寿吾。
后者摆了摆手，道：
“黄教授和林教授说得很全面，我没什么补充的。”
闻言，江阳頜首道：
“好，那我来说。”
“其实刚刚林教授的想法很不错。”
“我们现在的接触式光刻，缺少精密系统的辅助—.”
他一边说。
一边在身后的小黑板上写下几个关键点。
一掩膜与基片直接接触、光源简陋、手工操作。
总体上。
是根据林嵐因的思路，先去分析简易光刻机的缺陷。
待江阳说完后。
林嵐因立刻道：
“所以我们现在是要完成標准的接触式光刻吗？”
她在m帝时。
听说过接触式光刻的理论。
但目前来说，还没有一个很好的应用。
江阳道：
“不完全是。”
“接触式光刻其实存在个明显的缺陷。”
“近距离的物理接触，会导致掩膜的损失，大大降低寿命。”
他说完后。
林嵐因、黄琨和王寿吾，陷入沉思。
不採用接触式的话。
就完全没有可以依照的理论，只能摸著石头过河。
就在这时。
江阳继续道：
“所以我们需要保留掩膜与晶圆间微小的间隙。“
“没有物理接触。”
“自然能有效地提掩膜的使用寿命。”
林嵐因道：
“可是这样的话，恐怕需要更高的曝光时间。，“而且间隙控制。”
“没有够精度的调整机构，恐怕难以做到。”
江阳没有立刻回应。
而是默默地將手伸向隨身的挎包。
然后在三人果然如此的眼神中，拿出调整机构的研究方案。
林嵐因正想接过。
一旁的王寿吾忽然道：
“咦，江教授，您这次的案內容，以前多了很多啊！”
他说完后。
林嵐因何黄琨看著研究方案，也觉得不对。
就算是研製计算器时。
江阳都只给了大体的框架和简单的方向。
一个调整机构。
再难应该也不至於，需要这么多的稿纸去阐述研究方案。
江阳道：
“其实这里有两套方案。”
王寿吾惊讶道：
“两套？”
一旁的林嵐因和黄琨整了整，也露出疑惑的表情。
当然，他们並不是因为数量多。
而是觉得。
以江阳的能力，不应该会出现同时两套方案的情况。
想到这里。
王寿吾道：
“要不召集专家团，再討论几天，或许能给您一些参考。”
江阳道：
“不用这么麻烦，两套案都是可的。”
“只是效果不同。”
“第二套更好，是给我们的。至於第一套——拿来出！”
他其实有4套微调机构的方案。
但就现在的条件。
最多只能做到第二套，气浮轴承+气压控制。
王寿吾道：
“出口，这能行吗？”
他有些茫然。
毕竞以前华国都是从国外进口技术和设备。
至於出口。
只有农產品和矿產资源有点价值。
技术上。
根本没有国外能够看得上的东西。
这也是华国外匯储备长期缺乏的原因之一。
江阳笑道：
“当然能行。”
“不仅是微调机构。”
“以后光刻机，也要出口，我们得做好准备才行。”