第82章 双管齐下，继续推进硅电晶体研製工作！
第82章 双管齐下，继续推进硅电晶体研製工作！
次日，早。
江阳刚刚来到半导体实验室。
京机厂那边。
就送来了j5060通过最终测试的消息。
至此。
他们终於拥有了，能够完成製备，且满足光刻要求硅片的设备。
会议室內。
王寿吾正在对这段时间的研究成果，进行总结。
除开j5060外。
採用氧化铝研磨膏+铸铁拋光碟，以及化学腐蚀的方式。
完成了化学机械拋光。
並利用两台显微镜加一个紫外曝光灯，搭建了“土光刻机”。
虽说只能勉强实现10微米的线宽。
但也能满足最低图形解析度的需求。
当然。
也不是所有的研究都一帆风顺。
王寿吾道：
“光刻和扩散，是我们现在面临的两大难题。”
“手工光刻误差太大。”
“而开关扩散的掺杂，不仅存在波动，同一电晶体上的閾值电压差异——””
他说完后。
眾人陷入沉思。
江阳也没有著急开口，而是等待眾人討论。
毕竟他不能什么都解决。
没过多久。
很快便有人开口，道：
“我认为，可以尝试从光刻胶上取得突破。”
听到他的话。
所有人都下意识地看向江阳。
光刻胶这个概念。
还是江阳提出来的。
在此之前，他们都是以合金法和台面工艺製作电晶体，无需光刻胶。
王寿吾頜首道：
“汤教授，您请继续。”
闻言，汤定远道：
“江教授为我们介绍过光刻胶的作用。”
“它直接决定。”
“集成电路的最小特徵尺寸、良率和工艺复杂度—”
他说完后。
迟疑了片刻。
接下来的话，等於是在反对江阳提出的方案。
这时，江阳笑道：
“汤教授，如果您有更好的方法，但说无妨。”
汤定远点了点头，道：
“那我就直说了。”
“根据我的研究，使用天然沥青+溶剂，解析度极低。”
“最后很大概率无法满足我们的研製需要—”
沥青胶是负性光刻。
紫外线引发交联反应，形成三维网格结构后。
曝光区域变得难溶於溶剂，且会被溶剂渗透，引发溶胀。
虽说面前也能实现光刻。
但结果几乎是可以预见的不如人意。
汤定远说完后，又道：
“原本我也不觉得有问题。”
“毕竟光刻对我们所有人来说，都是个新东西。”
“但江教授的一句话，给了我启发。”
“如果让曝光区域发生光解反应，效果会不会更好——”
听完汤定远的想法后，眾人陷入沉思。
江阳面色不变。
心中却惊讶不已，暗道：
“不愧其中，能一句话中想出这么多的东西。”
汤定远，华国半导体学科创始人之一。
还是红外技术研究的奠基人。
曾以三份书信，重塑华国红外事业的战略眼光，研究能力毋庸置疑。
这时。
下面一个和汤定远差不多年纪的中年男人，道：
“汤教授，您说得確实有道理。”
“但沥青胶我们好歹知道是什么。”
“光解反应的光刻胶，只知道一个原理，恐怕不太容易研製。”
他说完后。
会议室內的眾人不由得点了点头。
光解反应或许更好，可能多久能实现，没人说得准。
汤定远道：
“但它的效果是毋庸置疑的。”
“光解反应后。”
“生成羧酸与硷液快速反应，能够消除溶解过程中的溶胀。”
听到他的话后。
会议室內，当即开始討论起来：
“我觉得汤教授说得不无道理。”
“的確，拋开可行性不谈，技术上还是很有创新性的。”
“问题是你都拋开可行性了，还研究什么？”
眾人你一言，我一语，说出自己的想法。
不过大部分人。
並不看好汤定远的建议，毕竟可行性太低。
当然。
如果只是先研究著，不作为主要技术攻关方向。
那倒是可以。
毕竟光刻胶以后一定还是要去突破的。
就在討论得差不多时。
王寿吾看向江阳，开口道：
“大家先安静，我们听一听江教授的意见吧？”
他的话音刚落。
会议室內嘈杂的声音，瞬间如潮水般消退。
眼看江阳从座位上站起来，每个人都下意识地拿出笔记本。
江阳走上台，道：
“其实我觉得汤教授的想法很不错，或许会是未来光刻胶的正確方向。”
“理论上来说。”
“依赖光化学转化的光刻胶，精度要比沥青胶至少高一个数级。”
他说完后。
汤定远的脸上，露出几分兴奋的红润之色。
毕竟他们一直依靠江阳的帮助，才建立起研究的基础理论体系，缺少自身的创新。
当然，这不是说不好。
有清晰的研究方向，大家高兴还来不及。
但如果只会完全按照江阳的方案来，缺少科学的研究思想，难保后面不会出问题。
王寿吾想了想，道：
“那这样吧，我们根据不同的方向，进行分组。”
“一组由汤教授领导，负责研製具备光解反应特性的光刻胶。”
“另一组我来负责，去继续沥青胶的研製，权当做个保险。”
他本来觉得汤定远的想法冒进了些。
但江阳都肯定了。
那么无论如何，都是要试试的。
隨后。
眾人又就后续的具体研究思路，討论了许久。
直到中午。
会议才终於结束。
江阳在饭堂吃过午饭后，並没有和之前一样继续研究。
而是选择返回京钢院。
毕竟现在的研究，已经进入到一个暂时的瓶颈阶段。
要將晶圆加工的工艺消化並熟练，需要一定的时间。
比如光刻工艺上。
“土光刻机”就极其依赖人工的经验做辅助。
如果拔苗助长，强行推进，恐怕会適得其反。
除非能有更加先进的接触式光刻机，才能够解决问题。
但以华国现在的条件，想搞接触式光刻机，投资大周期长，並不是很好的选择。
回到学校。
江阳刚刚来到大门。
就看到三两成群，结伴进出的学生们。
看到他。
都会停下来，道：
“江教授好！”
对於学生们的问好。
江阳开始的时候，还会一一打招呼。
但人数多了。
也只能点主表示回应。
就在他一边点主，一边往里走的时仞。
忽然有一道声音，问道：
“江教授，您这个学期会傍我们授课吗？”
次日，早。
江阳刚刚来到半导体实验室。
京机厂那边。
就送来了j5060通过最终测试的消息。
至此。
他们终於拥有了，能够完成製备，且满足光刻要求硅片的设备。
会议室內。
王寿吾正在对这段时间的研究成果，进行总结。
除开j5060外。
採用氧化铝研磨膏+铸铁拋光碟，以及化学腐蚀的方式。
完成了化学机械拋光。
並利用两台显微镜加一个紫外曝光灯，搭建了“土光刻机”。
虽说只能勉强实现10微米的线宽。
但也能满足最低图形解析度的需求。
当然。
也不是所有的研究都一帆风顺。
王寿吾道：
“光刻和扩散，是我们现在面临的两大难题。”
“手工光刻误差太大。”
“而开关扩散的掺杂，不仅存在波动，同一电晶体上的閾值电压差异——””
他说完后。
眾人陷入沉思。
江阳也没有著急开口，而是等待眾人討论。
毕竟他不能什么都解决。
没过多久。
很快便有人开口，道：
“我认为，可以尝试从光刻胶上取得突破。”
听到他的话。
所有人都下意识地看向江阳。
光刻胶这个概念。
还是江阳提出来的。
在此之前，他们都是以合金法和台面工艺製作电晶体，无需光刻胶。
王寿吾頜首道：
“汤教授，您请继续。”
闻言，汤定远道：
“江教授为我们介绍过光刻胶的作用。”
“它直接决定。”
“集成电路的最小特徵尺寸、良率和工艺复杂度—”
他说完后。
迟疑了片刻。
接下来的话，等於是在反对江阳提出的方案。
这时，江阳笑道：
“汤教授，如果您有更好的方法，但说无妨。”
汤定远点了点头，道：
“那我就直说了。”
“根据我的研究，使用天然沥青+溶剂，解析度极低。”
“最后很大概率无法满足我们的研製需要—”
沥青胶是负性光刻。
紫外线引发交联反应，形成三维网格结构后。
曝光区域变得难溶於溶剂，且会被溶剂渗透，引发溶胀。
虽说面前也能实现光刻。
但结果几乎是可以预见的不如人意。
汤定远说完后，又道：
“原本我也不觉得有问题。”
“毕竟光刻对我们所有人来说，都是个新东西。”
“但江教授的一句话，给了我启发。”
“如果让曝光区域发生光解反应，效果会不会更好——”
听完汤定远的想法后，眾人陷入沉思。
江阳面色不变。
心中却惊讶不已，暗道：
“不愧其中，能一句话中想出这么多的东西。”
汤定远，华国半导体学科创始人之一。
还是红外技术研究的奠基人。
曾以三份书信，重塑华国红外事业的战略眼光，研究能力毋庸置疑。
这时。
下面一个和汤定远差不多年纪的中年男人，道：
“汤教授，您说得確实有道理。”
“但沥青胶我们好歹知道是什么。”
“光解反应的光刻胶，只知道一个原理，恐怕不太容易研製。”
他说完后。
会议室內的眾人不由得点了点头。
光解反应或许更好，可能多久能实现，没人说得准。
汤定远道：
“但它的效果是毋庸置疑的。”
“光解反应后。”
“生成羧酸与硷液快速反应，能够消除溶解过程中的溶胀。”
听到他的话后。
会议室內，当即开始討论起来：
“我觉得汤教授说得不无道理。”
“的確，拋开可行性不谈，技术上还是很有创新性的。”
“问题是你都拋开可行性了，还研究什么？”
眾人你一言，我一语，说出自己的想法。
不过大部分人。
並不看好汤定远的建议，毕竟可行性太低。
当然。
如果只是先研究著，不作为主要技术攻关方向。
那倒是可以。
毕竟光刻胶以后一定还是要去突破的。
就在討论得差不多时。
王寿吾看向江阳，开口道：
“大家先安静，我们听一听江教授的意见吧？”
他的话音刚落。
会议室內嘈杂的声音，瞬间如潮水般消退。
眼看江阳从座位上站起来，每个人都下意识地拿出笔记本。
江阳走上台，道：
“其实我觉得汤教授的想法很不错，或许会是未来光刻胶的正確方向。”
“理论上来说。”
“依赖光化学转化的光刻胶，精度要比沥青胶至少高一个数级。”
他说完后。
汤定远的脸上，露出几分兴奋的红润之色。
毕竟他们一直依靠江阳的帮助，才建立起研究的基础理论体系，缺少自身的创新。
当然，这不是说不好。
有清晰的研究方向，大家高兴还来不及。
但如果只会完全按照江阳的方案来，缺少科学的研究思想，难保后面不会出问题。
王寿吾想了想，道：
“那这样吧，我们根据不同的方向，进行分组。”
“一组由汤教授领导，负责研製具备光解反应特性的光刻胶。”
“另一组我来负责，去继续沥青胶的研製，权当做个保险。”
他本来觉得汤定远的想法冒进了些。
但江阳都肯定了。
那么无论如何，都是要试试的。
隨后。
眾人又就后续的具体研究思路，討论了许久。
直到中午。
会议才终於结束。
江阳在饭堂吃过午饭后，並没有和之前一样继续研究。
而是选择返回京钢院。
毕竟现在的研究，已经进入到一个暂时的瓶颈阶段。
要將晶圆加工的工艺消化並熟练，需要一定的时间。
比如光刻工艺上。
“土光刻机”就极其依赖人工的经验做辅助。
如果拔苗助长，强行推进，恐怕会適得其反。
除非能有更加先进的接触式光刻机，才能够解决问题。
但以华国现在的条件，想搞接触式光刻机，投资大周期长，並不是很好的选择。
回到学校。
江阳刚刚来到大门。
就看到三两成群，结伴进出的学生们。
看到他。
都会停下来，道：
“江教授好！”
对於学生们的问好。
江阳开始的时候，还会一一打招呼。
但人数多了。
也只能点主表示回应。
就在他一边点主，一边往里走的时仞。
忽然有一道声音，问道：
“江教授，您这个学期会傍我们授课吗？”